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洁净室的清扫方法

日期:2017年7月19日 08:46
 洁净室的清扫方法
  洁净室的清扫工具一般采用集中固定式或便携移动式真空清扫设备,以确保在定期清扫时能去除微粒污染;也能有效地、适时地清除某些不适合在洁净室外进行工作所带来的污染。当设置集中固定式真空清扫系统时,其排风机应安装在洁净室外;洁净室内的连接插座在不使用时应严密封盖,以免危及洁净室内的压差或气流形式。当设置便携式真空清扫设备时,应配置有排风过滤器,其过滤效率应至少与所在洁净环境的等级相同;还应注意在使用时对洁净室内气流的影响。
 
     若洁净室不具备上述清扫条件时,也可采用不掉纤维的材料如丝光毛巾、尼龙布等进行擦拭,一般每天1次或数次。对于高级别的洁净室,擦拭用水应使用过滤后的水;有特殊要求的场所,也可采用符合要求的有机溶剂进行擦拭。当洁净室内产品生产工艺要求不能进行擦拭时,应采用真空清扫设备进行清扫。
 
     一般对于小面积的洁净室宜采用移动式真空清扫机,而大面积或高级别的洁净室宜采用集中或真空吸尘系统。集中或真空吸尘系统的设置要求如下:
 
     1、吸尘装置宜布置在靠近负荷的中心,并要考虑隔声隔振措施。
      2、洁净室内吸尘口位置和数量,要根据软管作用半径(一般为6—12m)确定,使洁净室内各处都得到清扫。
      3、集尘器要设置在真空泵的吸入端,集尘器可采用布袋除尘器等。
      4、吸尘系统的管道材料要选用耐磨、气密性好、有一定强度的材质,如无缝钢管或硬塑料管。管道弯头的曲率半径为管道直径的4~6倍,三通夹角一般为30°,最大不超过45°。水平管道要有一定的坡度,坡向立管或集尘器。
 
     不同级别、不同用途的洁净室,其清扫的次数和清扫方法都会有所不同,为防止在洁净室内微粒子的沉积,在洁净室工作前或工作后必须进行清扫。洁净室的净化空调系统每年应清扫1~2次,并宜委托专门清扫人员进行,所使用的清洁剂清扫程序应事先商定。

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